MEMS

MEMS傳感器

技術簡介

中芯國際的MEMS方案主要集中在兩大主流應用領域:第一種爲開放式結構,例如MEMS麥克風,目前已經進入量産;第二種爲封閉式結構,例如慣性傳感器,于2016年第二季度進入量産。

工藝選擇

應用産品

  • 硅麥克風

  • 加速度計

  • 陀螺儀

  • 壓力傳感器

  • 顯微鏡

  • 超聲波傳感器

  • 射頻器件